高線速切割 超高精度
用于碳化硅晶體加工截斷環節
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產品特點
高線速切割
設備可以使用30m/s的高線速度穩定切割,切割效率高,產出比高。
多種加工方式
設備可以自行選擇旋轉、線搖擺和料搖擺加工方式,更好的實現工藝的多種需求。
超高精度
設備的加工精度高，截斷樣片的TTV均值30μm以內,遠超同行業水平。
細線化控制
設備可以穩定使用0.18mm金剛線，張力控制精準,細線化在料損上控制非常優秀。
高級控制器
設備使用匯川最高級別的IS810系列控制器，配置高精度伺服電機13個。
減振設計
收放線系統排布在設備左右兩側，有效降低振動產生的影響，大幅度提升加工精度。
技術參數
| 加工料尺寸范圍 | Φ4~12英寸 / 100mm |
| 平均切割速度 | 0.3mm/min |
| 切割工藝設定步數 | ≥30 步 |
| 鋼線張力 | 0~110N（0.25 線張力為 45N） |
| 鋼線線速 | 0~30m/s |
| 金剛線線徑 | ≥0.18mm |
| 切片 TTV | ≤30μm |
| 設備重量 | 5.5t |
| 水箱容積 | 110L |
| 設備尺寸（長 x 寬 x 高） | 2370x2256x2080mm |
| 設備總功率 | 50kW |
| 切割斷線率 | ≤1%（人為原因，硅料、線、維護等原因除外） |
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