PVT-MF-46F
碳化硅感應生長爐
適用于6/8英寸導電和高純半絕緣型SiC晶體生長，創新的結構設計，可提供高純材料生長能力，擁有高精度的控溫、控壓能力，工藝性能優良，設備一致性好，具有豐富的量產經驗。
智能啟動 適用廣泛
適用于6/8英寸導電和高純半絕緣型SiC晶體生長，創新的結構設計，可提供高純材料生長能力，擁有高精度的控溫、控壓能力，工藝性能優良，設備一致性好，具有豐富的量產經驗。
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產品特點
智能啟動
一鍵智能啟動，減少人工干預，利于規模化生產。
適用廣泛
適用于6、8英寸，導電/高純半絕緣型SiC晶體生長。
專業設計
專業的結構設計，提供高純材料生長能力。
適于長時高溫低壓
適于長時/高溫/低壓工藝，拓寬高質量/大規模晶體生長窗口。
多輔助設備支持
包含多款輔助設備，大產能原料合成爐、晶錠退火爐及其他。
溫場均勻
通過實驗不斷優化熱場結構設計，使得溫度梯度更加均勻，減少傳統熱場局部高溫、碳化等問題。
低功耗
整體式線圈設計降低噪音，降低功耗。
技術參數
| 型號 | PVT-MF-46F |
| 尺寸：整機長 x 寬 x 高 | 2100x1150x3500mm |
| 加熱方式 | 感應加熱 |
| 可選配置 | 坩堝旋轉、雙測溫點 |
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