PVT-RS-800
碳化硅單加熱器電阻式長晶爐
結構緊湊省空間
結構緊湊,可采用并排布局,提高廠房利用率。
熱區擴大助增厚
有效熱區大,利于晶體長厚。
分子泵適配大尺寸
配置分子泵,滿足6/8吋半絕緣/導電晶體生長需求。
精準旋轉保溫均
坩堝軸旋轉功能,精度±0.01rpm,便于營造徑向溫度均勻環境,滿足厚晶體生長。
智能算法控精度
設備控制系統采用多種先進算法,控制精度高。
| 型號 | PVT-RS-800 |
| 尺寸:整機長 x 寬 x 高 | 3100X3200X3000mm |
| 裝料方式 | 上部裝料 |
| 可選配置 | 熱場及基礎工藝包 |
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