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穿透加熱 降低能耗
流程：人工將硅棒放置于石英托盤中，硅棒經(jīng)自動(dòng)線的加熱、水淬、烘干等工藝
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產(chǎn)品特點(diǎn)
穿透加熱
微波加熱為穿透加熱，內(nèi)外溫度同時(shí)上升，對(duì)硅料產(chǎn)生的影響較小
降低能耗
加工效率高，硅料內(nèi)部及表面溫差較。紗锏轎露紉
均勻性好
硅棒經(jīng)水淬后，硅料破碎后尺寸均勻
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 微波加熱水淬系統(tǒng) |
| 工作方式 | 微波加熱 |
| 適用場景 | 多晶棒料/復(fù)拉料/頭尾 |
| 產(chǎn)能（t/天） | 40 |
| 設(shè)備工作環(huán)境溫度（℃） | 10-40 |
| 電壓（VAC±10%） | 380 |
| 額定功率/工作功率（W） | 550,000/160,000 |
| 壓縮空氣 | 0.4-0.6MPa，8m³/h |
| 排風(fēng)（m³/h） | 15000 |
| 外形尺寸（m，L×W×H） | 21×4.5×3.5（根據(jù)實(shí)際現(xiàn)場布局定） |
| 總重（t，滿載） | 約35 |
| 進(jìn)料規(guī)格（mm） | 直徑≤310 |
| 傳輸速度（m/min） | 0-4 |
| 微波頻率（MHz） | 2450 |
| 微波泄漏（國標(biāo)5mw/㎡） | ＜4 |
| 溫度檢測 | 實(shí)時(shí)檢測，超溫報(bào)警 |
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