成本更低, 產能更高
單產高至200+ Kg天、熱場功耗更低: 等徑功率低至 42KW、用水量更低,冷卻水流量低至 20 m³/h。
品質更高
嚴格控氧、電阻率更均勻、少子壽命更高。
兼容更廣
熱場最大42吋,硅棒直徑最大16吋、兼容CCz,兼容磁場。
智能拉晶
集成基于設備大數據的BI與AI, 優化全工藝流程、一鍵智能拉晶, 拉晶全流程自動化, 自動推薦引晶功率, 自動引放判斷準確率 ≥ 99%、準確性、穩定性及安全性更好的AI視覺檢測和自動放堝等模塊,帶給客戶更高效的自動化生產率和無人化運行。
單晶車間全套自動化
原料處理自動化, 檢驗自動化, 運輸自動化。
| 主室尺寸 | Φ1800x2100mm |
| 喉口尺寸 | Φ450mm |
| 副室尺寸 | Φ450x5500mm |
| 閉合高度 | 12.14m |
| 打開高度 | 13.19m |
| 設備總重 | 約18t |
| 坩堝直徑 | 33" 、37" 、 40" 、 42" |
| 裝料量 | 700kg 、1000kg、 1200kg、1300kg |
| 可選配置 | 一鍵拉晶? 延長室 真空泵-4202大泵 自動清灰過濾罐 循環水流量計 外置加料裝置接口(OCZ&CCz ) 熱場組件 取晶車/熱場轉運車 高效加熱電源 專用工裝工具 低氧拉晶方案2.0 |
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