進口PLC控制 精準控溫
針對N型硅片雙面制絨，形成超細絨面，適配隧穿氧化層沉積。集成臭氧氧化工藝，降低有機物殘留。
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產品特點
進口PLC控制
進口PLC控制，穩步提升設備的產能。
機械臂慢提
慢提拉采用機械臂慢提方式，設備滿足干濕分離，匹配高效光伏電池發展趨勢。
無金屬制程
可配套無金屬化制程設備，提高設備潔凈度。
精準控溫
工藝槽采用經典的內外槽的循環模式，能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻，槽內控溫精度誤差＜±1℃。
技術參數
| 功能 | 1. 使用強堿腐蝕在硅片背面拋光形成近似鏡面的絨面結構 2. 增加背鈍化膜的厚度均勻性 3. 降低了背面的表面積，提升了少子壽命，降低背面復合速率 |
| 產能 | ≥16000PCS/h(6籃182);≥12000PCS/h(4籃182) ≥13500PCS/h(6籃210);≥10000PCS/h(4籃210) 碎片率≤0.01% Uptime≥98% |
| 優勢 | 1.進口PLC控制，穩步提升設備的產能 2.慢提拉采用機械臂慢提方式，設備滿足干濕分離，匹配高效電池發展趨勢 3.可配套無金屬化制程設備，提高設備潔凈度 4.工藝槽采用經典的內外槽循環模式，能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻，槽內控溫精度誤差<±1℃ |
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