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加工規(guī)格多
產(chǎn)品特點(diǎn)
加工規(guī)格多
可滿足4-8吋晶體加工 加工長(zhǎng)度：0-400mm。
設(shè)備功能全
外圓滾磨、測(cè)晶向角度、磨OF面、刻V-Notch槽。
配置高
控制系統(tǒng)為歐姆龍系統(tǒng)，整機(jī)配置自動(dòng)潤(rùn)滑系統(tǒng)。
加工精度高
光潔度Ra0.8-1.0、橢圓度0.02/400mm、圓錐度±0.05/400mm、徑向精度±15'。
技術(shù)參數(shù)
| 加工晶棒直徑 | 4~8英寸 |
| 加工晶棒長(zhǎng)度 | ≤400mm |
| 橢圓度 | ≤0.05mm |
| 圓錐度 | ≤±0.05mm |
| 光潔度 | Ra0.8-1.0（根據(jù)砂輪目數(shù)） |
| OF寬度頭尾偏差 | ±0.1mm |
| 晶向精度 | ±15' |
| V-NOTCH深度 | 1.00~1.25mm |
| V-NOTCH角度 | 89°~93° |
| 工作臺(tái)最小進(jìn)給量 | 0.005mm |
| 磨架最小進(jìn)給量 | 0.005mm |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | 0-200r/min連續(xù)可調(diào) |
| 工作臺(tái)往復(fù)速度 | 4-800mm/min連續(xù)可調(diào) |
| 設(shè)備外形尺寸 | 4-800mm/min連續(xù)可調(diào) |
| 設(shè)備總功率 | 20kW |
| 設(shè)備自重 | 4.5t |
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大連基地：遼寧省大連市甘井子區(qū)營(yíng)日路40號(hào)
無(wú)錫基地：江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)涇虹路15號(hào)
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