一體鑄造穩定定位準確

該產品是一款使用金剛線切割半導體碳化硅晶片的專用加工設備，可加工晶棒直徑兼容6英寸、8英寸，最大加工長度300mm。

產品特點

損料小質量好

具有損料小、加工質量好、切割效率高、穩定性好等特點。

一體鑄造穩定

機床底座、主軸箱之座、垂直進給立柱、進給滑臺均為一體鑄造結構，采用高精度機床加工，設備結構穩定。

進口軸承高精度

主軸采用進口NSK軸承，軸箱結構自主研發、裝配，精度高于行業標準。

西門子系統穩定

采用進口德國西門子運動控制系統及電機，保證長時間穩定運行。

擺動切削均勻

夾具采用可擺動機構，保證加工時工件進行擺動式切削，切削受力均勻。

獨立冷卻防結露

主軸冷卻采用獨立水箱，實現大流量控制方式，解決軸箱內部結露問題。

自動化操作便捷

自動化配套設計可實現單機一鍵提料、一鍵自動對刀等功能。

指標控制優良

TTV、WARP、BOW、表面線痕、崩邊、斷線率等指標控制優良。

定位準確

晶托采用專利T形槽定位，保證加工晶向的準確性。

軟件控制精準

自主研發的專利軟件控制系統，張力控制精準。