02-04-01
晶體生長爐 KX360MCZ
主要技術指標
1、型號:KX360MCZ;
2、爐室內徑:Φ1400mm;
3、可拉晶體直徑:最大12英寸;
4、可裝熱場尺寸:36英寸;
5、裝料量:650kg。
設計優點
1、應用領域:輕摻、磁控;
2、在出現拉晶斷棱回熔以及硅料復投等非正常拉晶工藝時,都可從系統中選擇相應的自動工序來運行;
3、配置國際領先品牌磁。行某∏靠紗4000GAUSS,磁場分布均勻,利于生長高品質半導體晶體。
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