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03-05
碳化硅電阻式長晶爐
設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn)
1、結(jié)構(gòu)緊湊，可采用并排布局，提高廠房利用率;
2、滿足6-8寸半絕緣/導(dǎo)電晶體生長需求;
3、PVT-RS-40型碳化硅電阻式長晶爐適用于生長高質(zhì)量6-8吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領(lǐng)域。
1、結(jié)構(gòu)緊湊，可采用并排布局，提高廠房利用率;
2、滿足6-8寸半絕緣/導(dǎo)電晶體生長需求;
3、PVT-RS-40型碳化硅電阻式長晶爐適用于生長高質(zhì)量6-8吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領(lǐng)域。
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