高效清洗 節能環保
用于硅片線切割后的脫膠工藝，通過高溫軟化膠水實現硅片與基板分離。
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產品特點
自動化流程
采用單臂機械手輸送，支持自動配酸液、加熱及二次脫膠工藝，降低人工干預。
高效清洗
配置多槽噴淋和超聲清洗單元，結合在線加熱，提升脫膠效率。
節能環保
臟水回收過濾重復利用，減少耗水量；排酸氣抽風裝置降低環境污染，設備具備乳酸單獨回收功能。
配置豐富
自動去邊皮、邊皮自動稱重、晶托自動碼垛、晶托自動出料等。
技術參數
| 主要功能 | 對切片后的硅片進行脫膠 |
| 過程控制 | 品牌PLC自動控制，設備自動處理 |
| UPTIME | 98%(24h/天，年工作日在353天以上) |
| 生產時間 | 三班制(注：一天工作24h/天，330天/年) |
| 產能 | ≧180板/天 |
| 節拍 | ≦7.5分/板(用戶自定，可調) |
| 適應晶棒 | 兼容4~8寸的各種晶托 |
| 適應尺寸 | 各槽體尺寸：滿足1000mm晶棒(含鐵板、鋁尾座)放入槽體運行 |
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