高效分片
配備吸水板、花籃定位、慢提拉、烘干槽等專利技術(shù),高效分片,降低碎片率。
智能監(jiān)控
采用日本基恩士總線通訊系統(tǒng),絕對值總線伺服,可快速抓取處理生產(chǎn)數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)智能監(jiān)控。
快速切換
各種規(guī)格的硅片尺寸,各尺寸切換時(shí)間不超過4小時(shí)。
| 全自動插片清洗一體機(jī) | ||
| 類別 | 硅片尺寸 | 參數(shù) |
| 產(chǎn)能 | 182mm及以上 210mm |
≧14000pcs/h ≧12000pcs/h |
| 薄片 | 182mm及以上 210mm |
厚度110-200μm 厚度110-200μm |
| 崩邊率 | 182mm及以上 210mm |
≦0.5% ≦0.6% |
| 碎片率 | 182mm及以上 210mm |
≦0.2% ≦0.2% |
| 烘干率 | 182mm及以上 210mm |
100% 100% |
| 兼容性 | 166/182/210/220/230/240 | |
| 三頭六籃全自動插片/清洗一體機(jī) | ||
| 類別 | 硅片尺寸 | 參數(shù) |
| 產(chǎn)能 | 182mm及以上 210mm |
≧14000pcs/h ≧12000pcs/h |
| 薄片 | 182mm及以上 210mm |
厚度110-200μm 厚度110-200μm |
| 崩邊率 | 182mm及以上 210mm |
≦0.5% ≦0.6% |
| 碎片率 | 182mm及以上 210mm |
≦0.2% ≦0.2% |
| 烘干率 | 182mm及以上 210mm |
100% 100% |
| 兼容性 | 166/182/210/220/230/240 | |
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