控制智能化
可導入多種預設長晶方式,根據使用需求進行一鍵切換。
工藝適配性好
可配備雙加熱器并獨立控制,便于調整溫度梯度。
運行穩定性強
水冷坩堝軸、籽晶軸旋轉平穩;氣壓溫度閉環控制,控制精度高。
其他優勢
熱場安裝方便,籽晶液面接觸檢測,液面視覺檢測。
| 型號 | HTSG-RS-760 |
| 尺寸:整機長 x 寬 x 高 | 3000X2600X4700 mm |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 裝料方式 | 上部裝料 |
| 可選配置 | 熱場及基礎工藝包 |
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