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超大直徑單晶爐
用于半導(dǎo)體用超大尺寸硅部件晶體生長
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產(chǎn)品特點
超大直徑單晶爐
世界首臺拉制超大直徑晶體單晶爐,拉制24英寸晶體單晶爐。
大口徑旋片閥
大口徑旋片閥有效降低設(shè)備高度，提高穩(wěn)定性。
控制算法先進
先進的控制算法確保晶體品質(zhì)。
水冷環(huán)提效
設(shè)計水冷環(huán)，提高生產(chǎn)效率。
預(yù)留磁場安裝空間
可預(yù)留磁場升降機構(gòu)安裝空間。
最大晶體直徑550mm
可拉晶體直徑:Max~φ550mm。
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | KX380-650P |
| 爐室直徑 | Φ1600mm |
| 副室直徑 | 650mm |
| 旋片閥喉口直徑 | Φ500~650mm |
| 可拉晶體直徑 | Max~Φ550mm |
| 熱場尺寸 | Min~32inch-Max~40inch |
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