CG6000Ge
鍺單晶爐
前門易換
前開法蘭門,可以安全、方便地更換籽晶及取晶體。
雙冷保障
水冷卻雙回路設(shè)計(主回路+應(yīng)急回路),確保不間斷冷卻。
均溫精準(zhǔn)
熱區(qū)均勻性:在直徑600mm區(qū)域內(nèi),溫度偏差≤±5°C。
靈活取渣
可配置取渣裝置。
智能控質(zhì)
先進的控制算法確保晶體品質(zhì)。
| 型號 | CG6000Ge |
| 熱場尺寸 | Max~18inch |
| 可拉晶體直徑 | Max~156mm |
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證券代碼
920368
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