自動上料安全防護
用于半導體硅棒加工截斷環節
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產品特點
自動上料安全防護
硅棒由桁架機械手自動上料，配置安全防護網和安全光柵。
龍門結構穩定切割
切割頭采用龍門雙立柱結構，結構穩定可靠，故障率低，切割效率高，精度高。
自動退料便捷搬運
截斷后的硅棒自動退送至下料區，方便下料搬運，客戶可以選配全自動下料裝置。
無線手柄操作方便
上料輸送臺和切割頭移動配置無線操作手柄，方便操作左右上下移動，方便更換環線和切割輪。
支持工單掃碼和激光打碼
選配工單掃碼和激光打碼功能。
可選自動取樣機器人
選配機器人自動取樣品裝置。
技術參數
| 加工規格 | 8 英寸 / 12 英寸 |
| 加工長度 | 2500mm |
| 樣品厚度 | ≥1.3mm |
| 加工粗糙度 | Ra<3 μ m |
| 切割線速度 | 0.50/0.65mm |
| 運行線速度 | ≤0.2mm |
| 設備尺寸 | 4500×3860×3600mm |
| 設備總功率 | 9.5kW |
| 設備總質量 | 9t |
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